產品關鍵詞：太陽能電池量子效率測量系統、量子效率測量儀、外量子效率（EQE）測量系統、內量子效率（IQE）測試、能量標定、光譜響應（SR）測試儀、等效積分電流密度、AM0、AM1.0、AM1.5G、量子效率測試儀、量子效率系統、量子效率測量系統、QE、太陽能量子效率測試儀
Keywords: Solar cell quantum Efficiency Measurement system, quantum efficiency measurement instrument, External Quantum Efficiency (EQE) measurement system, internal quantum Efficiency (IQE) test, energy calibration, Spectral response (SR) tester, equivalent integrated current density, AM0, AM1.0, AM1.5G, quantum efficiency tester, quantum efficiency system, Quantum Efficiency Measurement System, QE, Solar quantum efficiency tester
產品簡介
太陽能電池量子效率測量系統SolarYield是東譜科技針對太陽能電池行業開發的外量子、內量子、能量標定、光譜響應、等效積分電流密度等測試平台，適用於矽基、疊層、CIGS、GeTe、OPV、鈣鈦礦光伏等等各種類型的太陽能電池器件。該設備集成度高，主機集成樣品倉、樣品支架等部件，樣品台帶3軸位移功能，方便對同一基片上的不同器件進行測試，高清可視化系統，通過攝像頭方便看到測試光照射器件情況，調整樣品的光斑照射位置，使用便捷，測試效率高。
產品特點
具有高集成自動化特征
□ 設備集成度高，主機集成單色儀、光學調製部件、電學檢測部件等，使用便捷，測試效率高；
□ 配置高清可視化系統，通過攝像頭方便看到測試光照射器件情況，調整樣品的光斑照射位置；
□ 高靈敏EQE測試系統，測試精度10-7、多通道器件自動切換測試；
□ 高清顯示系統，軟件控製光斑對位，光斑尺寸0.5 mm-10 mm可調；
□ 工作波長300-1100 nm/300-1800 nm；
□ EQE、R、IQE、積分等效電流密度等；
□ 支持選配ΔE1、ΔE2、ΔE3 測試分析模塊；
□ 支持選配最新的Eg、ΔECT、ΔErad、ΔEnonrad測試分析模塊；
□ SolarYield測試軟件，參數設置、數據采集、位置調整、能量標定、存儲等均通過軟件完成。
具有模塊化適配特征
□ 針對太陽能電池，可以選配AM1.5G光譜響應測試模塊；
□ 針對微小器件，可以選配顯微探針測試模塊；
□ 針對變溫場景，可以選配MagicK變溫測試模塊；
□ 針對空氣老化樣品，可以選用HiSam多功能測試夾具。
產品功能
□ 外量子EQE、IPCE、內量子IQE；
□ 光譜響應度；
□ 等效積分電流密度；
□ 電池能量標定等。
規格型號
□ 工作波長：300-1100nm，300-1800nm；
□ 功能定製。
產品應用
矽基、疊層、CIGS、GeTe、OPV、鈣鈦礦光伏等各種類型太陽能電池器件。
測試案例
產品簡介
太陽能電池量子效率測量系統SolarYield是東譜科技針對太陽能電池行業開發的外量子、內量子、能量標定、光譜響應、等效積分電流密度等測試平台，適用於矽基、疊層、CIGS、GeTe、OPV、鈣鈦礦光伏等等各種類型的太陽能電池器件及其他光電轉換器件。該設備集成度高，主機集成樣品倉、樣品支架等部件，樣品台帶3軸位移功能，方便對同一基片上的不同器件進行測試，高清可視化系統，通過攝像頭方便看到測試光照射器件情況，調整樣品的光斑照射位置，使用便捷，測試效率高。
產品特點
□ 主機集成單色儀、光學調製部件、電學檢測部件等；
□ 主機光路在出廠時進行了優化設置，一般不需要額外調整光路；
□ 主機集成樣品倉、暗箱、樣品支架等部件，光路全反射垂直向下照射，光斑1mm-10mm可調；
□ 樣品台帶3軸位移功能，方便對同一基片上的不同器件進行測試；
□ 高清可視化系統（CCD），通過攝像頭方便看到測試光照射器件情況，調整樣品的光斑照射位置；支持感興趣區域（ROI）標計，可以進行點、圓形、矩形等形狀位置標記；
□ 測試樣品支持多通道自動切換；
□ 測試過程由軟件控製，易操作性強；
□ 具備測試前導通預判功能：在測試前判定探針與電極接觸是否良好、具備子器件一維位置標記功能、可以對所有子器件短路電流自動輪詢、樣品與測試光斑對準情況，軟件中有特定的界面用於監測信號導通情況；
□ 高穩定性重複精度：EQE（300-390nm平均不重複性≦±0.6%，400-1000nm平均不重複性≦±0.4%，其他波長平均不重複性≦±1%）、短路電流密度不重複性≦±0.4%；
□ 具備掃描模式：1）可以1nm-800nm的任意數字設置掃描步長；2）可以支持波長正向和反向掃描；3）探測器可以對光強進行自動標定；4）支持一次開機標定和每次樣品掃描自動標定兩種模式；
□ 具備Dashboard模式：1）可以設置樣品位置、探測器位置，具備6檔位置記憶功能；2）可以自動設置照明光的光強，強度可調範圍0%-100%；3）可以觀察光斑成像情況，可以進行圓形、方形、點狀ROI標記，可以進行軟件縮放；4）可以進行波長設置，實時觀察光電流大小；5）具備4檔光電流量程，具備自動量程切換功能；6）可以設置斬波器頻率；7）信號監控功能，可偵測樣品光電流訊號的產生和變化；8）光強監控反饋功能，反饋電路DSP鎖相輸入，監控反饋範圍與EQE波長相同。
產品應用
□ 光電導器件
□ 太陽能電池器件
- 矽基太陽能電池
- 有機太陽能電池
- 鈣鈦礦太陽能電池
- 銅銦镓硒太陽能電池
- 碲化鎘太陽能電池等
□ 光探測器
□ 光催化器件
□ 其它光電轉換器件
功能參數
| 太陽能電池量子效率測量系統 |
| 型號 | SolarYield |
| 測試功能 | 項目 |
光譜響應測試 （300nm-1800nm/300nm-1100nm/900nm-1800nm） | - 外量子效率測試
- 內量子效率測試
- 光譜響應度測試
- 光電流測試
- 光功率測試
- 透射率
- 反射率
- AM0、AM1.5、 AM1.5G短路電流密度
- 積分光譜響應度
- 積分AM0、AM1.5、AM1.5G短路電流密度
- 能量標定
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| 伏安特性測試 | |
| 穩定性測試 | |
| 輔助功能 | - Hisam自動樣品切換
- 自動位移平台
- 樣品倉可視化系統
- 拓展功能：設備聯用、手套箱方案、EQE-EL等
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規格參數
| 部件 | 類別 | 參數 |
| 光源 | 氙燈 | - 光譜範圍：190nm~1100nm；
- 功率：75 W- 450W。
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| 鹵素燈 | - 光譜範圍：350nm~2500nm；
- 功率：60W-450W。
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| 氘燈 | - 光譜範圍：160nm~400nm；
- 功率：60W-450W。
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氘燈-鹵素燈 複合光源 | - 光譜範圍：200nm~2500nm；
- 功率：60W-450W。
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超連續白光光源 | - 光譜範圍：450nm~2400nm；
- 功率：60W-450W。
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| 光源系統 | - 內置光學斬波器：頻率100-1000Hz連續可調，適應不同測試需求；
- 光源自動切換功能：實現不同光源間的無縫切換；
- 高效率、高反射率橢圓反射鏡集光系統：全波長反射鏡反射率大於75%；
- 光斑尺寸：不小於1mm x 1mm，方形；
- 光學入射角度：不小於8度角，垂直照射光路；
- 單色光光強：在530nm處不低於2mW/cm²。
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| 源表 | HiSMU | - 輸出電壓量程：15V；
- 輸出電流量程：40mA；
- 輸出電壓電流分辨率：10mV/10μA；
- 最小電壓電流測量分辨率：1mV/1μA。
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| Keithley 2400 | - 輸出電壓量程：200mV, 2V, 20V, 200V；
- 輸出電流量程：1μA~1A；
- 最小輸出電壓電流分辨率：5μV/50pA；
- 最小電壓電流測量分辨率：100nV/1pA。
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| Keithley 2612B | - 輸出電壓量程：200mV, 2V, 20V, 200V；
- 輸出電流量程：100nA~10A；
- 最小輸出電壓電流分辨率：5μV/2pA；
- 最小電壓電流測量分辨率：100nV/100fA。
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| Keithley 2636B | - 輸出電壓量程：200mV, 2V, 20V, 200 V；
- 輸出電流量程：1nA~10A；
- 最小輸出電壓電流分辨率：5μV/20fA；
- 最小電壓電流測量分辨率：100nV/0.1fA。
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| *數據采集 | - 標配：AC，DC（可選）；
- 支持自動量程功能；
- 支持偏壓測試：±10V，1mV；
- 支持寬光電流測試範圍，包含1uA、10uA、1mA、20mA等量程檔位的全自動量程測試，支持從1pA-20mA的光電流自動測試，≥十階光電流測試。
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| *1顯示示波器模塊 | - 示波器顯示窗口，示波器顯示功能，顯示樣品信號的波形情況；
- 時域信號和頻域信號測量分析顯示能力，最大時域範圍10s；
- 信號監控功能，可檢測樣品光電流信號的產生和變化；
- 模擬輸入分辨率≥14Bits (AC/DC，模擬數字轉換器)；
- 直流模式全波長測量不重複性 ≦ ±1%。
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| *2鎖相放大器模塊 | - 雙信道DSP鎖相放大功能，信道自動切換功能；
- 集成於設備主機內，完全通過軟件控製，操作便利；
- Bandpass帶寬濾波功能，自動濾除幹擾信號；
- 最大采樣速度 < 25 μs (單點)，雙信道鎖相同步采樣速度<50μs；
- 雙通道時間延遲<1μs；
- 衰減濾波器，RXYθ 量測功能，界面接口 ：ΜSB
- 時間常數可自行設置: 0.001s~100s；
- 最大增益：107；
- 最大靈敏度 ：0.1 nA；
- 最大輸入電壓 ：10V。
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| *3偏壓模塊 | - 電壓範圍：-10V~＋10V；
- 電壓分辨率：≤1 mV；
- 可集成在主機內，軟件界面可直接設置偏壓值。
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| *4直流測量模塊 | - 斬波器切換器；
- 1k Hz低通直流濾波器；
- 增益配置大於106；
- 模擬輸入分辨率 >14Bits；
- 采樣速度 >50μs；
- 最大采樣數 >10,000；
- 直流模式全波長測量不重複性 ≦ ±1%。
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| 單色儀 | - 光譜範圍：300~1800nm；
- 焦長：180 mm；
- F/#：3.9；
- 波長最小步進：≦1 nm；
- 掃描間隔：0.1 nm-50 nm，典型值10nm；
- 配備自動三光柵塔輪
- 配備自動狹縫，帶寬可設置值0.02-15nm；
- 波長準確度：±0.2nm（典型值)；
- 波長分辨：±0.1 nm。
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| 標準探測器 | - Si標準探測器；
- Ge標準探測器；
- Ge探測器專用鎖放輸入通道；
- 支持雙探測器自動標定；
- 支持雙探測器數據自動連接。
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| 疊層電池測試模塊 | - 150w 鹵素燈偏置光源；
- 0-5 Sun光強連續可調；
- 光強透鏡組和支架；
- XY軸移動滑台，固定磁座；
- 配備550nm短通濾片、850nm長通濾片。
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積分球附件
| - 材料：Spectralon、PTFE、Spectraflect、BaSO4等；
- 內徑：3.3 / 6 / 10 / 15 inch可選。
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| 變溫模塊 | - 溫度範圍：78K-500K；
- 製冷方式：液氮；
- 控溫穩定性：±0.1K。
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| 顯微模塊 | - 光學放大倍數：50~500倍；
- 平場無限遠長工作距消色差金相物鏡：5X,10X,20X,50X；
- 掃描平台：XY行程75 × 30mm，分辨率20μm；
- 相機像素：830萬；
- 相機幀率：45@3840x2160，70@1920x1080；
- 曝光時間：0.02ms~15s。
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| 手套箱整合模塊 | - 手套箱專用防泄漏光纖管≧4.5米；
- 手套箱專用 KF40法蘭密封組件；
- 光纖聚光透鏡組；
- 光纖照射光斑大小達直徑≧1mm；
- 手套箱專用樣品台，附BNC傳輸端，專用光纖安裝支架；
- 樣品獨立切換樣品盒，可獨立切換通道功能（1-6）。
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| 太陽光譜掃描模塊 | AM0/AM1.5/AM1.5G可選 |
| 樣品室 | HiSam夾具 | - 自動切換通道數：≥6；
- 可拔插磁吸式樣品夾具固定座；
- 標準探測器固定卡槽；
- 變溫功能：支持；
- 支持客製化夾具。
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| 大尺寸樣品台 | - 7寸晶矽測量樣品台；
- 銅鍍金平台 (台面尺寸≧180x180mm)；
- 兩段式真空吸附功能；
- ≧7L/min吸附能力真空泵；
- 兩組Z軸探針座；
- 探針兩根；
- 針尖：≧0.5mm；
- 標準電池水平固定平台；
- ≧4個高度水平調整Z軸座，調整範圍≧30mm；
- 4線法量測。
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| 夾具探針 | 手動調整探針位置 |
| 屏蔽暗箱 | - 一體式防雜光屏蔽暗箱；
- 尺寸：≧600 mm×600 mm×600 mm（典型）。
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| 專業測試軟件 | - 測試功能：外量子、內量子、能量標定、光譜響應、等效積分電流密度（AM0、AM1.5、AM1.5G）、反射率、透射率等；
- 通過軟件控製測試過程，集成化、自動化特點；
- 支持三種模式的能量標定；
- 支持波長掃描間隔設置（1、2、5、10、20nm等掃描間隔連續可調），掃描時間秒級別至分鍾級別；
- AC/DC，單模或雙模，支持測量延遲設定功能、支持單點多次訊號采集和平均功能、支持數據實時顯示功能；
- 支持穩定性測試功能，可以測試EQE等參數穩定性測試；
- 支持與電緻發光EQE-EL系統聯用，支持能量損耗測量與分析：肖克利奎伊瑟極限、輻射複合損失和非輻射複合損失分析；
- 支持≧2個不同溫度黑體輻射模型分析、支持相分離測試分析；
- 支持測試前導通預判功能、具備子器件一維位置標記功能、可以對所有子器件短路電流自動輪詢、樣品與測試光斑對準情況，實時監測信號導通情況；
- 支持自動保存測試結果；
- 支持輸出Excel、txt等格式數據文檔；
- 支持一鍵導入/導出設置參數；
- 支持一鍵保存測試結果/測試條件。
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| 備品備件 | |
測試案例
