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半導體參數分析儀 FluxDancer E900

FluxDancer半導體參數分析儀是由Oriental Spectra精心打造的高精度測試設備，專為測量和分析半導體器件的電學特性而設計。這款儀器融合了眾多前沿測量技術，包括電源、電壓表、電流表、LCR表和開關矩陣等，使其能夠執行電流-電壓（IV）和電容-電壓（CV）測量，以及快速脈衝IV測量等多種測試。

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產品簡介

FluxDancer半導體參數分析儀是由Oriental Spectra精心打造的高精度測試設備，專為測量和分析半導體器件的電學特性而設計。這款儀器融合了眾多前沿測量技術，包括電源、電壓表、電流表、LCR表和開關矩陣等，使其能夠執行電流-電壓（IV）和電容-電壓（CV）測量，以及快速脈衝IV測量等多種測試。

FluxDancer的卓越之處在於其對測試精度和分辨率的追求。它不僅能夠提供精確的IV和CV表征，而且廣泛應用於半導體研發、工藝製程開發、器件可靠性測試和光電器件測試等領域。與傳統的多儀器組合相比，FluxDancer的集成設計確保了更高的測量精度和分辨率。

在技術規格上，FluxDancer展現了其卓越的性能。它支持廣泛的電壓和電流測量範圍，具備極高的精度和靈敏度，能夠檢測到低至飛安級別的微小電流，並能夠進行高達兆赫茲頻率的CV測量。此外，FluxDancer還具備強大的數據處理能力，可以在測試後立即進行器件特性分析，支持多種數據保存方式，便於用戶進行後續的分析研究或直接導入建模軟件進行模型提取和特性分析。

FluxDancer的適用性非常廣泛，能夠適應各種擴展性的測試場景。例如，它可以與高低溫恒溫器耦合，進行變溫器件性能測試；與顯微測試系統耦合，進行微納器件測試；與手套箱測試耦合，實現測試過程的惰性氣體保護；與真空發生器測試耦合，實現真空測試；與磁學部件耦合，檢測磁場影響下的電學性能;與晶圓測試平台耦合，實現對晶圓及後續半導體模組的電學測試等。

FluxDancer半導體參數分析儀是半導體行業中不可或缺的高精度測試工具，它以其卓越的性能和廣泛的應用範圍，為科研人員和工程師提供了一個可靠的測量平台，助力用戶在半導體領域的探索與創新。

產品特點

□ 電流-電壓（IV）、電容-電壓（CV）、脈衝IV測試等全面功能；

□ 電流測量分辨率最高0.1 fA，測試精度30 fA；

□ IV-t測試模式，最快采樣率不低於65 us/點；

□ 支持脈衝模式下的最短脈衝寬度為10 ns；

□ 測試功能：IV、IV-t、PIV (脈衝IV)、Super-PIV (10 ns sampling)CV、阻抗、1/f (100 KHz)、Super-1/f (1 MHz)、Solar cell、FET、BJT、EL等  。

□ 高精度和高分辨率的測量能力；

□ 快速測量和分析，支持多種測量模式；

□ 模塊化設計，易於升級和擴展：配置＞10個插槽，支持最大吸收電流至4A；

□ 適用器件、材料，有源/無源元器件等類型的電子器件；

□ 直觀的用戶界面，簡化操作流程；

□ 支持自動化測試和數據分析。

主要可選配功能

□ IV

□ Super-IV

□ PIV (脈衝IV)

□ Super-PIV (10 ns sampling)

□ CV

□ 阻抗

□ Solar cell

□ FET

□ BJT

□ EL

□ 1/f (100KHz)

□ Super-1/f (1MHz)


產品應用

□ 新型半導體

□ 二極管

□ CMOS 晶體管

□ 雙極晶體管（BJT）

□ 分立器件

□ 存儲器

□ 功率器件

□ 光子檢測器件

□ 太陽能電池

□ 發光二極管器件

□ 薄膜晶體管

□ 二維材料

□ EMS

□ 傳感器

□ 納米器件

功能參數

規格配置
主要技術指標
I-V 源測量單元 (SMU)大功率SMU
  • 電壓範圍：± 100 V-±200V
  • 直流電流範圍：± 1A
  • 脈衝電流範圍：± 2A-±3A
  • 最小電流分辨率：0.1 fA
  • 最小電壓分辨率：100nV
  • 電流測量精度分辨率：10fA
  • 電壓測量精度分辨率：0.5uV
  • 直流功率：20W或者40W可選
  • 最大脈衝功率：480W （最大電壓160V，最大電流3A）
  • 脈衝模式最小寬度：50 us，可輸出50us脈衝測試
  • 支持四象限測試
  • 支持2線或4線測試
  • 支持IV-T測試模式，最快采樣率550ns每點，數據存儲點可以設置為10K，1M，10M或100M
中等功率直流SMU
  • 電壓範圍：±40-±50 V
  • 電流範圍：±1.5A
  • 最小電流分辨率：400 pA
  • 最小電壓分辨率：4 uV
  • 電流測試分辨率：10fA
  • 電壓測量分辨率：0.5uV
  • 支持四象限測試
  • 支持2線或4線測
小功率直流SMU
  • 電壓範圍：±14 V
  • 電流範圍：±40 mA
  • 最小電流分辨率：200 nA
  • 最小電壓分辨率：60 uV
  • 電流測量分辨率：10fA
  • 電壓測量分辨率：0.5uV
  • 支持四象限測試
  • 支持2線或4線測試
支持源表數量
  • 1-5可選
前置放大
  • 可配置前置放大，SMU電流測量分辨率提高至0.1fA
C-V 多頻率電容單元 (CVU)
  • AC 阻抗測量 (C-V, C-f, C-t)
  • 1 kHz - 10 MHz 頻率範圍，最小頻率分辨率1mHz
  • 電容測試精度1pF@1MHz≤±0.3%，10pF@1MHz≤±0.15%，10pF@100kHz≤±0.2%
  • ±30 V (60 V差分)，內置 DC 偏置源可以
  • 擴展到 ± 210 V(420 V差分)
  • 具有IV、CV自動切換測量功能
  • 支持C-V，C-f電容測量掃描方
脈衝式I-V 超快速脈衝測量單元 (PMU)
  • 兩個獨立的高速脈衝 I-V 源和測量通道
  • 200 MSa/s，5 ns 樣點間隔
  • ±40 V (80 V p-p )，±800 mA
  • 瞬態波形捕獲模式
  • 任意波形發生器，10 ns 可編程分辨
高壓脈衝發生器單元 (PGU)
  • 兩個高速脈衝電壓源通道
  • ±40 V (80 V p-p )，± 800 mA
  • 任意波形發生器，10 ns 可編程分辨率
I-V/C-V 多通道開關模塊 (CVIV)
  • 在 I-V 和 C-V 之間切換，無需抬起探針
  • 任意端子C-V測量，無需抬起探針
  • 支持 ±210 V DC 偏置
1/f噪聲測試模塊（FNU）
  • 速度8～10s/bias
  • 帶寬1Hz～100KHz
  • 噪聲本底：2*1028A2/Hz
  • 全帶寬下的偏壓為±200
電氣輸入
  • 100V～240V，50/60Hz
  • 可選配UPS不間斷電
軟件系統
軟件
  • Windows操作系統（含嵌入式PC）
  • 圖形化全套測試軟件
  • 樣品放置完畢，僅點擊鼠標即可完成測試，包括對儀表進行控製和提取測試數據，支持曲線追蹤功能，實時觀察器件擊穿和飽和情況
  • 支持太陽能電池、發光器件、MOSFET、BJT雙極器件、晶體管器件、晶體管電容器、電阻器、二極晶管等器件的測試例程


半導體參數分析儀 FluxDancer E900
FluxDancer半導體參數分析儀是由Oriental Spectra精心打造的高精度測試設備，專為測量和分析半導體器件的電學特性而設計。這款儀器融合了眾多前沿測量技術，包括電源、電壓表、電流表、LCR表和開關矩陣等，使其能夠執行電流-電壓（IV）和電容-電壓（CV）測量，以及快速脈衝IV測量等多種測試。
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