Name: 真空鍍膜儀不鏽鋼腔體系列SteeVac260/360/460
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參數/規格	SteeVac 260	SteeVac 360	SteeVac 460
鍍膜方式	多源熱蒸發鍍膜	多源熱蒸發鍍膜	熱蒸發鍍膜
腔體結構	方形，前後開門，可配合手套箱安裝	方形，前後開門，可配合手套箱安裝	方形，前後開門，可配合手套箱安裝
材質用料	優質真空不鏽鋼	優質真空不鏽鋼	優質真空不鏽鋼
真空腔室尺寸	L260W262H351	L360W363H486	L460W464H635
電極分布	扇形分布，相互間擋板隔離，避免交叉汙染	扇形分布，相互間擋板隔離，避免交叉汙染	扇形分布，相互間擋板隔離，避免交叉汙染
低溫源（有機/氧化物等）數量	最多6個蒸發源	最多9個蒸發源	最多13個蒸發源
低溫源溫度範圍	室溫~600°C	室溫~600°C	室溫~600°C
低溫源切換	PC控製/手動	PC控製/手動	PC控製/手動
高溫源（金屬）數量	1~3可選	1~4可選	1~6可選
基片台（樣品架）方案一	φ161mm，圓形	φ224mm，圓形	φ287mm，圓形
基片台（樣品架）方案二	80*80mm,方形	110*110mm，方形	150*150mm，方形
基片台（樣品架）加熱	常溫/加熱，加熱可選配室溫~400℃或室溫~200℃溫控範圍
基片台（樣品架）高度	樣品架與源表面距離：≤330mm；裝片方式：側插方式
樣品托及掩模版	70×70mm，可放置最大65×65mm樣品	100×100mm，可放置最大90×90mm樣品	最大134×134mm樣品或放16片25×25mm樣品
參數/規格	SteeVac 260	SteeVac 360	SteeVac 460
基片台擋板	程控，氣缸+磁流體驅動，傳動穩定，密封可靠	程控，氣缸+磁流體驅動，傳動穩定，密封可靠	程控，氣缸+磁流體驅動，傳動穩定，密封可靠
基片台升降	固定間距或0~30mm可調	固定間距或0~50mm可調	固定間距或0~70mm可調
基片尺寸	≤30×30mm	≤30×30mm	≤30×30mm
膜厚不均勻性	≤5%	≤5%	≤5%
備用接口	4	6	6
門板控製	手動/自動/手自一體	手動/自動/手自一體	手動/自動/手自一體
系統控製	PC軟件；速率自動控製，功率控製，溫度控製。	PC軟件；速率自動控製，功率控製，溫度控製。	PC軟件；速率自動控製，功率控製，溫度控製。
蒸鍍過程控製	各操作環節，掩膜板更換、樣品架旋轉及定位、電源功率調節等均可在軟件界面完成	各操作環節，掩膜板更換、樣品架旋轉及定位、電源功率調節等均可在軟件界面完成	各操作環節，掩膜板更換、樣品架旋轉及定位、電源功率調節等均可在軟件界面完成
總功率	≥5KW	≥8KW	≥10KW
抽氣速率	5.0×10-2Pa≤5min	5.0×10-2Pa≤8min	5×10-2Pa≤10min
極限真空	優於4.0×10-5Pa	優於4.0×10-5Pa	優於4.0×10-5Pa
漏率	≤6.5×10-8Pa·L/S	≤6.5×10-8Pa·L/S	≤6.5×10-8Pa·L/S
工作真空	≥5×10-4Pa，從大氣到工作真空時間≤30min
系統保壓	系統抽到極限後，停泵關機12小時後，系統真空度保持≤2Pa
參數/規格	SteeVac 260	SteeVac 360	SteeVac 460
分子泵類別	油/脂潤滑、磁懸浮可選	油/脂潤滑、磁懸浮可選	油/脂潤滑、磁懸浮可選
冷卻系統	搭配循環水冷卻	搭配循環水冷卻	搭配循環水冷卻
循環水參數	≤4LMP，溫度範圍-5°C~45°C，溫控精度0.1%	≤4LMP，溫度範圍-5°C~45°C，溫控精度0.1%	≤4LMP，溫度範圍-5°C~45°C，溫控精度0.1%
掩膜庫一	4位	4位	4位
掩膜庫二	6位	6位	6位
掩膜庫	8位	8位	8位
真空系統	分子泵+機械泵，PC軟件控製	分子泵+機械泵，PC軟件控製	分子泵+機械泵，PC軟件控製
蒸發電源	控製方式：恒流模式；數量：按客戶要求；功率：600W,1200W，1500W可選；精度：程控精度為量程的0.01%。	控製方式：恒流模式；數量：按客戶要求；功率：600W,1200W，1500W可選；精度：程控精度為量程的0.01%。	控製方式：恒流模式；數量：按客戶要求；功率：600W,1200W，1500W可選；精度：程控精度為量程的0.01%。
典型：金屬源×4套，有機源×4套，內門，外門下方各放兩隻有機源，左右各放兩隻金屬源；有機源可開艙調整角度，帶有標尺，範圍豎直到指向樣品中心。
真空保持	12小時≤2Pa	12小時≤2Pa	12小時≤2Pa
系統保護	氣壓、高壓保護，控製系統全程即時報警	氣壓、高壓保護，控製系統全程即時報警	氣壓、高壓保護，控製系統全程即時報警
參數/規格	SteeVac 260	SteeVac 360	SteeVac 460
氣路控製	超高真空氣動電磁閥	超高真空氣動電磁閥	超高真空氣動電磁閥
電氣櫃	與系統一體式集成化，節省空間	與系統一體式集成化，節省空間	與系統一體式集成化，節省空間
腔室測溫	可選高精度PT100測溫，軟件實時顯示溫度值	可選高精度PT100測溫，軟件實時顯示溫度值	可選高精度PT100測溫，軟件實時顯示溫度值
膜厚儀	腔室內可安裝1~8個探頭標配優質石英晶振膜厚控製儀；可選國產或進口監測控製儀	腔室內可安裝1~8個探頭標配優質石英晶振膜厚控製儀；可選國產或進口監測控製儀	腔室內可安裝1~8個探頭標配優質石英晶振膜厚控製儀；可選國產或進口監測控製儀
真空計顯示範圍	1.0×105Pa~1.0×10-5Pa	1.0×105Pa~1.0×10-5Pa	1.0×105Pa~1.0×10-5Pa
機架	進口鋁型材組裝，整體簡潔大方	進口鋁型材組裝，整體簡潔大方	進口鋁型材組裝，整體簡潔大方
顯示屏	搭配工業級屏幕支架，可任意角度旋轉及隨意升降，滿足不同用戶的舒適要求	搭配工業級屏幕支架，可任意角度旋轉及隨意升降，滿足不同用戶的舒適要求	搭配工業級屏幕支架，可任意角度旋轉及隨意升降，滿足不同用戶的舒適要求

真空鍍膜儀不鏽鋼腔體系列SteeVac260/360/460

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