Name: 真空镀膜仪不锈钢腔体系列SteeVac260/360/460
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参数/规格	SteeVac 260	SteeVac 360	SteeVac 460
镀膜方式	多源热蒸发镀膜	多源热蒸发镀膜	热蒸发镀膜
腔体结构	方形，前后开门，可配合手套箱安装	方形，前后开门，可配合手套箱安装	方形，前后开门，可配合手套箱安装
材质用料	优质真空不锈钢	优质真空不锈钢	优质真空不锈钢
真空腔室尺寸	L260W262H351	L360W363H486	L460W464H635
电极分布	扇形分布，相互间挡板隔离，避免交叉污染	扇形分布，相互间挡板隔离，避免交叉污染	扇形分布，相互间挡板隔离，避免交叉污染
低温源（有机/氧化物等）数量	最多6个蒸发源	最多9个蒸发源	最多13个蒸发源
低温源温度范围	室温~600°C	室温~600°C	室温~600°C
低温源切换	PC控制/手动	PC控制/手动	PC控制/手动
高温源（金属）数量	1~3可选	1~4可选	1~6可选
基片台（样品架）方案一	φ161mm，圆形	φ224mm，圆形	φ287mm，圆形
基片台（样品架）方案二	80*80mm,方形	110*110mm，方形	150*150mm，方形
基片台（样品架）加热	常温/加热，加热可选配室温~400℃或室温~200℃温控范围
基片台（样品架）高度	样品架与源表面距离：≤330mm；装片方式：侧插方式
样品托及掩模版	70×70mm，可放置最大65×65mm样品	100×100mm，可放置最大90×90mm样品	最大134×134mm样品或放16片25×25mm样品
参数/规格	SteeVac 260	SteeVac 360	SteeVac 460
基片台挡板	程控，气缸+磁流体驱动，传动稳定，密封可靠	程控，气缸+磁流体驱动，传动稳定，密封可靠	程控，气缸+磁流体驱动，传动稳定，密封可靠
基片台升降	固定间距或0~30mm可调	固定间距或0~50mm可调	固定间距或0~70mm可调
基片尺寸	≤30×30mm	≤30×30mm	≤30×30mm
膜厚不均匀性	≤5%	≤5%	≤5%
备用接口	4	6	6
门板控制	手动/自动/手自一体	手动/自动/手自一体	手动/自动/手自一体
系统控制	PC软件；速率自动控制，功率控制，温度控制。	PC软件；速率自动控制，功率控制，温度控制。	PC软件；速率自动控制，功率控制，温度控制。
蒸镀过程控制	各操作环节，掩膜板更换、样品架旋转及定位、电源功率调节等均可在软件界面完成	各操作环节，掩膜板更换、样品架旋转及定位、电源功率调节等均可在软件界面完成	各操作环节，掩膜板更换、样品架旋转及定位、电源功率调节等均可在软件界面完成
总功率	≥5KW	≥8KW	≥10KW
抽气速率	5.0×10-2Pa≤5min	5.0×10-2Pa≤8min	5×10-2Pa≤10min
极限真空	优于4.0×10-5Pa	优于4.0×10-5Pa	优于4.0×10-5Pa
漏率	≤6.5×10-8Pa·L/S	≤6.5×10-8Pa·L/S	≤6.5×10-8Pa·L/S
工作真空	≥5×10-4Pa，从大气到工作真空时间≤30min
系统保压	系统抽到极限后，停泵关机12小时后，系统真空度保持≤2Pa
参数/规格	SteeVac 260	SteeVac 360	SteeVac 460
分子泵类别	油/脂润滑、磁悬浮可选	油/脂润滑、磁悬浮可选	油/脂润滑、磁悬浮可选
冷却系统	搭配循环水冷却	搭配循环水冷却	搭配循环水冷却
循环水参数	≤4LMP，温度范围-5°C~45°C，温控精度0.1%	≤4LMP，温度范围-5°C~45°C，温控精度0.1%	≤4LMP，温度范围-5°C~45°C，温控精度0.1%
掩膜库一	4位	4位	4位
掩膜库二	6位	6位	6位
掩膜库	8位	8位	8位
真空系统	分子泵+机械泵，PC软件控制	分子泵+机械泵，PC软件控制	分子泵+机械泵，PC软件控制
蒸发电源	控制方式：恒流模式；数量：按客户要求；功率：600W,1200W，1500W可选；精度：程控精度为量程的0.01%。	控制方式：恒流模式；数量：按客户要求；功率：600W,1200W，1500W可选；精度：程控精度为量程的0.01%。	控制方式：恒流模式；数量：按客户要求；功率：600W,1200W，1500W可选；精度：程控精度为量程的0.01%。
典型：金属源×4套，有机源×4套，内门，外门下方各放两只有机源，左右各放两只金属源；有机源可开舱调整角度，带有标尺，范围竖直到指向样品中心。
真空保持	12小时≤2Pa	12小时≤2Pa	12小时≤2Pa
系统保护	气压、高压保护，控制系统全程即时报警	气压、高压保护，控制系统全程即时报警	气压、高压保护，控制系统全程即时报警
参数/规格	SteeVac 260	SteeVac 360	SteeVac 460
气路控制	超高真空气动电磁阀	超高真空气动电磁阀	超高真空气动电磁阀
电气柜	与系统一体式集成化，节省空间	与系统一体式集成化，节省空间	与系统一体式集成化，节省空间
腔室测温	可选高精度PT100测温，软件实时显示温度值	可选高精度PT100测温，软件实时显示温度值	可选高精度PT100测温，软件实时显示温度值
膜厚仪	腔室内可安装1~8个探头标配优质石英晶振膜厚控制仪；可选国产或进口监测控制仪	腔室内可安装1~8个探头标配优质石英晶振膜厚控制仪；可选国产或进口监测控制仪	腔室内可安装1~8个探头标配优质石英晶振膜厚控制仪；可选国产或进口监测控制仪
真空计显示范围	1.0×105Pa~1.0×10-5Pa	1.0×105Pa~1.0×10-5Pa	1.0×105Pa~1.0×10-5Pa
机架	进口铝型材组装，整体简洁大方	进口铝型材组装，整体简洁大方	进口铝型材组装，整体简洁大方
显示屏	搭配工业级屏幕支架，可任意角度旋转及随意升降，满足不同用户的舒适要求	搭配工业级屏幕支架，可任意角度旋转及随意升降，满足不同用户的舒适要求	搭配工业级屏幕支架，可任意角度旋转及随意升降，满足不同用户的舒适要求

真空镀膜仪不锈钢腔体系列SteeVac260/360/460

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