Name: 真空镀膜仪铝腔体系列AluVac260/360/460
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参数/规格	AluVac 260	AluVac 360	AluVac 460
镀膜方式	多源热蒸发镀膜	多源热蒸发镀膜	多源热蒸发镀膜
腔体结构	方形，前后开门，可配合手套箱安装	方形，前后开门，可配合手套箱安装	方形，前后开门，可配合手套箱安装
材质用料	优质真空不锈钢	优质真空不锈钢	优质真空不锈钢
真空腔室尺寸	L260W262H351	L360W363H486	L460W464H635
加热温度	最大600℃	最大600℃	最大600℃
蒸发源数量	2~8可选；扇形分布，相互间挡板隔离，避免交叉污染	6~12可选；扇形分布，相互间挡板隔离，避免交叉污染	10~16可选；扇形分布，相互间挡板隔离，避免交叉污染
MagicVol/切换	PC控制	PC控制	PC控制
蒸发源/加热温度	室温~600°C	室温~600°C	室温~600°C
蒸发源参数	金属舟：200A	金属舟：200A	金属舟：200A
基片台（样品架）	φ161mm	φ224mm	φ287mm
样品托及掩模版	样品托面积：70×70mm，可放置最大65×65mm样品	样品托面积：100×100mm，可放置最大90×90mm样品	样品托面积：140×140mm，可放置最大134×134mm样品或放16片25×25mm样品
基片台挡板	程控，气缸+磁流体驱动，传动稳定，密封可靠	程控，气缸+磁流体驱动，传动稳定，密封可靠	程控，气缸+磁流体驱动，传动稳定，密封可靠
基片台升降	固定间距或0~30mm可调	固定间距或0~50mm可调	固定间距或0~70mm可调
参数/规格	AluVac 260	AluVac 360	AluVac 460
基片尺寸	≤30×30mm	≤30×30mm	≤30×30mm
膜厚不均匀性	≤5%	≤5%	≤5%
备用接口	4	6	6
门板控制	手动/自动/手动自动一体	手动/自动/手动自动一体	手动/自动/手动自动一体
系统控制	PC软件	PC软件	PC软件
蒸镀过程控制	各操作环节，掩膜板更换、样品架旋转及定位、电源功率调节等均可在软件界面完成	各操作环节，掩膜板更换、样品架旋转及定位、电源功率调节等均可在软件界面完成	各操作环节，掩膜板更换、样品架旋转及定位、电源功率调节等均可在软件界面完成
总功率	≥5KW	≥8KW	≥10KW
抽气速率	5.0×10-2Pa≤5min	5.0×10-2Pa≤8min	5.0×10-2Pa≤10min
工作真空	优于5×10-4Pa，从大气到工作真空时间≤30分钟	优于5×10-4Pa，从大气到工作真空时间≤30分钟	优于5×10-4Pa，从大气到工作真空时间≤30分钟
极限真空	优于4.0×10-5Pa	优于4.0×10-5Pa	优于4.0×10-5Pa
漏率	≤6.5×10-8Pa·L/S	≤6.5×10-8Pa·L/S	≤6.5×10-8Pa·L/S
分子泵类别	油/脂润滑、磁悬浮可选	油/脂润滑、磁悬浮可选	油/脂润滑、磁悬浮可选
冷却系统	搭配循环水冷却	搭配循环水冷却	搭配循环水冷却
掩膜库一	4位	4位	4位
掩膜库二	6位	6位	6位
掩膜库三	8位	8位	8位
参数/规格	AluVac 260	AluVac 360	AluVac 460
循环水参数	≤4LMP，温度范围-5°C~45°C，温控精度0.1%	≤4LMP，温度范围-5°C~45°C，温控精度0.1%	≤4LMP，温度范围-5°C~45°C，温控精度0.1%
真空系统	分子泵+机械泵PC软件控制	分子泵+机械泵PC软件控制	分子泵+机械泵PC软件控制
蒸发电源	控制方式：恒流模式；数量：按客户要求；功率：600W，1200W，1500W等可选；精度：程控精度为量程的0.01%。	控制方式：恒流模式；数量：按客户要求；功率：600W,1200W；精度：程控精度为量程的0.01%	控制方式：恒流模式；数量：按客户要求；功率：600W,1200W；精度：程控精度为量程的0.01%。
手套箱	单/双工位可选，可按客户要求预留多个数据交互接口（USB、BNC等）使用户可无忧使用需要与外设备连接的仪器	单/双工位可选，可按客户要求预留多个数据交互接口（USB、BNC等）使用户可无忧使用需要与外设备连接的仪器	单/双工位可选，可按客户要求预留多个数据交互接口（USB、BNC等）使用户可无忧使用需要与外设备连接的仪器
真空保持	12小时≤2Pa	12小时≤2Pa	12小时≤2Pa
参数/规格	AluVac 260	AluVac 360	AluVac 460
手套箱参数	手套箱含水氧探头、气体循环和再生系统。水氧含量控制在小于1 ppm。	手套箱含水氧探头、气体循环和再生系统。水氧含量控制在小于1 ppm。	手套箱含水氧探头、气体循环和再生系统。水氧含量控制在小于1 ppm。
系统保护	气压、高压保护控制系统全程即时报警	气压、高压保护控制系统全程即时报警	气压、高压保护控制系统全程即时报警
气路控制	超高真空气动电磁阀	超高真空气动电磁阀	超高真空气动电磁阀
电气柜	与系统一体式集成化，节省空间	与系统一体式集成化，节省空间	与系统一体式集成化，节省空间
腔室测温	可选高精度PT100测温，软件实时显示温度值	可选高精度PT100测温，软件实时显示温度值	可选高精度PT100测温，软件实时显示温度值
膜厚仪	腔室内可安装1~8个探头标配优质石英晶振膜厚控制仪；可选国产或进口监测控制仪	腔室内可安装1~8个探头标配优质石英晶振膜厚控制仪；可选国产或进口监测控制仪	腔室内可安装1~8个探头标配优质石英晶振膜厚控制仪；可选国产或进口监测控制仪
真空计显示范围	1.0×105Pa至1.0×10-5Pa	1.0×105Pa至1.0×10-5Pa	1.0×105Pa至1.0×10-5Pa
机架	进口铝型材组装，整体简洁大方	进口铝型材组装，整体简洁大方	进口铝型材组装，整体简洁大方
显示屏	搭配工业级屏幕支架，可任意角度旋转及随意升降，满足不同用户的舒适要求	搭配工业级屏幕支架，可任意角度旋转及随意升降，满足不同用户的舒适要求	搭配工业级屏幕支架，可任意角度旋转及随意升降，满足不同用户的舒适要求

真空镀膜仪铝腔体系列AluVac260/360/460

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