Name: 半导体参数分析仪 FluxDancer E900
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规格配置		主要技术指标
I-V 源测量单元 (SMU)	大功率SMU	电压范围：± 100 V-±200V 直流电流范围：± 1A 脉冲电流范围：± 2A-±3A 最小电流分辨率：0.1 fA 最小电压分辨率：100nV 电流测量精度分辨率：10fA 电压测量精度分辨率：0.5uV 直流功率：20W或者40W可选最大脉冲功率：480W （最大电压160V，最大电流3A）脉冲模式最小宽度：50 us，可输出50us脉冲测试支持四象限测试支持2线或4线测试支持IV-T测试模式，最快采样率550ns每点，数据存储点可以设置为10K，1M，10M或100M
	中等功率直流SMU	电压范围：±40-±50 V 电流范围：±1.5A 最小电流分辨率：400 pA 最小电压分辨率：4 uV 电流测试分辨率：10fA 电压测量分辨率：0.5uV 支持四象限测试支持2线或4线测
	小功率直流SMU	电压范围：±14 V 电流范围：±40 mA 最小电流分辨率：200 nA 最小电压分辨率：60 uV 电流测量分辨率：10fA 电压测量分辨率：0.5uV 支持四象限测试支持2线或4线测试
	支持源表数量	1-5可选
	前置放大	可配置前置放大，SMU电流测量分辨率提高至0.1fA
C-V 多频率电容单元 (CVU)		AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t) 1 kHz - 10 MHz 频率范围，最小频率分辨率1mHz 电容测试精度1pF@1MHz≤±0.3%，10pF@1MHz≤±0.15%，10pF@100kHz≤±0.2% ±30 V (60 V差分)，内置 DC 偏置源可以扩展到 ± 210 V(420 V差分) 具有IV、CV自动切换测量功能支持C-V，C-f电容测量扫描方
脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元 (PMU)		两个独立的高速脉冲 I-V 源和测量通道 200 MSa/s，5 ns 样点间隔 ±40 V (80 V p-p )，±800 mA 瞬态波形捕获模式任意波形发生器，10 ns 可编程分辨
高压脉冲发生器单元 (PGU)		两个高速脉冲电压源通道 ±40 V (80 V p-p )，± 800 mA 任意波形发生器，10 ns 可编程分辨率
I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)		在 I-V 和 C-V 之间切换，无需抬起探针任意端子C-V测量，无需抬起探针支持 ±210 V DC 偏置
1/f噪声测试模块（FNU）		速度8～10s/bias 带宽1Hz～100KHz 噪声本底：2*1028A2/Hz 全带宽下的偏压为±200
电气输入		100V～240V，50/60Hz 可选配UPS不间断电
软件系统
软件		Windows操作系统（含嵌入式PC）图形化全套测试软件样品放置完毕，仅点击鼠标即可完成测试，包括对仪表进行控制和提取测试数据，支持曲线追踪功能，实时观察器件击穿和饱和情况支持太阳能电池、发光器件、MOSFET、BJT双极器件、晶体管器件、晶体管电容器、电阻器、二极晶管等器件的测试例程

半导体参数分析仪 FluxDancer E900

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半导体参数分析仪 FluxDancer E900